Am 08.07.2022 verteidigte Florian Janek erfolgreich seine Dissertation zum Thema „Entwicklung einer Prozesskette für den Aufbau individualisierter Foliensysteme“.
Florian Janek erforschte in seiner Doktorarbeit neben Integrationsverfahren von ultradünnen Siliziumchips in Polymerfolie auch deren elektrische Kontaktierung mittels Inkjetdruck. Zunächst wurden Prozesse zum Handling und zur klebtechnischen Montage der mechanisch flexiblen Siliziumchips untersucht. Es folgten Untersuchungen zur Einbettung in UV-sensitiven Lack durch Conformal-Coating-Sprühen, um anschließend die Kontaktflächen der Chips nach einer maskenlosen Direktbelichtung photolithographisch freizustellen. Abschließend wurde die elektrische Kontaktierung durch Inkjetdruck nanopartikulärer Silber- und Goldtinten erforscht. Durch die Wahl von Conformal-Coating-Prozessen, maskenloser Direktbelichtung und Inkjet-Digitaldruck konnte so eine Prozesskette für den Aufbau individualisierter Foliensysteme mit integrierten, ultradünnen, mechanisch flexiblen Siliziumchips demonstriert werden.
Den Vorsitz zur Doktorprüfung führte Prof. Dr. phil. nat. Thomas Graf (Institut für Strahlwerkzeuge (IFSW)). Als Hauptberichter und Mitberichter fungierten Herr Prof. Dr.-Ing. André Zimmermann (Institut für Mikrointegration (IFM)) sowie Herr Prof. Dr.-Ing. Joachim Burghartz (Institut für Nano- und Mikroelektronische Systeme (INES)
